摘要 '8
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光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計算得到，對于光柵的每個衍射階次都給出了這兩個量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）來計算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器，可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 cI2Ps3~"Q  
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圖片:1-20040G35K1523.png

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光柵詳細(xì)說明 CQWXLQED>  
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圖片:1-20040G35RC63.png

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•為了演示一維光柵的光柵分析器，我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 q