摘要
pSzO)j &t1Uk[ 干涉測量法是
光學計量學的重要技術(shù)。 它被廣泛用于例如,表面輪廓、缺陷、高
精度的
機械和熱變形。 作為一個典型示例,在VirtualLab Fusion中借助非
序列場追跡,構(gòu)建了具有相干
激光光源的Mach Zehnder干涉儀。 證明了
光學元件的傾斜和移位如何影響干涉條紋圖案。
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b'5[R S%sD#0l 建模任務
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Z#1'STg !=Hu?F p 元件傾斜引起的干涉條紋
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