摘要
,R$n I*mf_ 95giqQ(N 與傳統(tǒng)
光柵相比，尤其是在非傍軸情況下，超光柵具有優(yōu)勢(shì)。在此示例中，我們?cè)O(shè)計(jì)了一個(gè)將入射
光束分成3x3光束的二維（2D）超光柵。超光柵由圓形
納米柱構(gòu)成，并且在
VirtualLab Fusion中，我們使用FMM / RCWA評(píng)估超光柵的
衍射效率。 并且，我們展示了如何使用
參數(shù)優(yōu)化工具來提高衍射效率的均勻性。
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