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1.光刻產(chǎn)品：微透鏡，刻槽，光學(xué)碼盤，分劃板，光柵，光刻掩模等，還可根據(jù)客戶需要制作各類特殊微細(xì)結(jié)構(gòu)。最大加工范圍320*320m。                                                                                      2.設(shè)計(jì)：微功能器件設(shè)計(jì)。包括微機(jī)械（MEMS）設(shè)計(jì)、光學(xué)/微光學(xué)器件設(shè)計(jì)、掩模設(shè)計(jì)。                             
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