1. 摘要 4$ ~A%JN3
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在最近的幾十年里，COMS傳感器的像素尺寸由最初大于10um以發(fā)展至2um，甚至更小。通過減小像素尺寸以獲得更高的空間分辨率。與此同時，這也為覆蓋在每個像素上的微透鏡的功能帶來了疑問。在此示例中，我們研究了像素大小等于或小于2um CMOS傳感器的性能。 并在仿真分析中采用嚴(yán)格的FMM / RCWA以檢測微透鏡的有效性。 eMHBY6<~= QOT|6)Yb 2. 建模任務(wù) ya`Z eQ-p zE,1zBS< 采用的幾何參數(shù)來自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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