最新評論

tassy 2023-09-13 00:16

這是個熱門研究問題。

phisfor 2023-09-13 08:07

華科大實現(xiàn)共軛結(jié)構(gòu)光場晶圓圖形化缺陷探測新理論與新方法

sac 2023-09-13 08:12

圖形化缺陷

楊森 2023-09-13 08:48

一種高效率、無損傷、易集成、超分辨的有圖形晶圓缺陷方法

churuiwei 2023-09-13 09:06

美國化學(xué)會(ACS)旗下高水平光學(xué)期刊《ACS Photonics》在線發(fā)表了華中科技大學(xué)機械學(xué)院劉世元教授

qyzyq37jason618 2023-09-13 09:19

為克服這一難題，研究團隊提出了一種名為共軛結(jié)構(gòu)光場顯微鏡的新方法，在保留傳統(tǒng)明場顯微鏡大視場、高效率、無損傷等特點的同時，得益于利用自定義優(yōu)化結(jié)構(gòu)光場進行照明，該方法能夠?qū)崿F(xiàn)密集周期納米圖案中亞λ/14寬缺陷的精確定位及分類。在論文中，我們以一組密集的二維周期雙線條納米圖案為例，利用光學(xué)臨近矯正方法優(yōu)化設(shè)計照明結(jié)構(gòu)光場，對已預(yù)置缺陷的周期圖案進行了仿真檢測，三種不同的預(yù)置缺陷均被成功檢出。而后，通過掃描結(jié)構(gòu)光場的照明位置，實現(xiàn)了缺陷的精確定位與分類，且缺陷在差分圖像及梯度圖像中均表現(xiàn)為具有分辨率增強效應(yīng)的擾動信號，分辨率較傳統(tǒng)明場顯微鏡提升一倍。 H"(:6 `  

wmh1985 2023-09-13 09:21

利用可見光照明對深亞波長缺陷進行無標(biāo)記、非破壞、實時、超分辨探測是先進工藝節(jié)點下有圖形晶圓缺陷檢測所面臨的重大難題。受限于傳統(tǒng)光學(xué)檢測手段有限的空間分辨率及有圖形晶圓中深亞波長尺度缺陷的低信噪比，可見光照明時無法實現(xiàn)深亞波長尺度缺陷探測，這也是時下產(chǎn)業(yè)界與學(xué)術(shù)界的熱門研究問題。

liulin666 2023-09-13 09:24

華科大實現(xiàn)共軛結(jié)構(gòu)光場晶圓圖形化

度魔銀 2023-09-13 09:30

科技創(chuàng)造未來，探索永無止境

swy312 2023-09-13 09:35

利用可見光照明對深亞波長缺陷進行無標(biāo)記、非破壞、實時、超分辨探測是先進工藝節(jié)點下有圖形晶圓缺陷檢測所面臨的重大難題。