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    [技術(shù)]超構(gòu)光柵構(gòu)建——實例討論 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-09-05
    摘要                                                                             :$0yp`k  
    mm;sf  
    超構(gòu)光柵通常由具有空間變化參數(shù)的納米柱組成，與傳統(tǒng)光柵相比，它具有優(yōu)越的性能�？梢越柚е橘|(zhì)在 VirtualLab Fusion 中設(shè)置此類光柵，在本例中，我們將展示如何正確配置超構(gòu)光柵設(shè)置。這包括介質(zhì)、材料的配置、支柱的幾何形狀以及支柱的空間分布。還給出了有關(guān)空間頻率數(shù)量設(shè)置的附加提示。 @S:T8 *~}  
    F?[1 m2  
     tQas_K5  
    HQ]mDo  
    超構(gòu)光柵結(jié)構(gòu)和建模 )ZI#F]  
    ] E:NmBN<  
                                                                                 u`D _  
    7Mk>`4D'c  
    VirtualLab Fusion提供： NfnPXsad  
     Pillar Medium (General)，用于構(gòu)建超構(gòu)光柵和其他類似結(jié)構(gòu)，以安排圓形/矩形納米柱的分布; t+_\^Oa)  
     Fourier modal method (FMM)用于嚴(yán)格分析由此配置的超構(gòu)光柵在衍射效率，偏振靈敏度等方面的性能。 `!$6F:d_l  
    {xeJO:M3/  
    光柵周圍介質(zhì)   JOJuGB-d  
    ,J,Rup">h  
                                                                                 lrj&60R`w  
    @Pf9;7,TV  
    • 光柵前后的介質(zhì)在光學(xué)設(shè)置編輯器中設(shè)置。 h3-^RE5\`S  
    • 這些介質(zhì)必須根據(jù)調(diào)查的實際  情況進行配置。 %P D}VF/Y  
    • 作為光柵效率分析的慣例，襯底與周圍介質(zhì)之間的菲涅耳損耗通常被忽略(即結(jié)構(gòu)襯底的介質(zhì)與其背后的介質(zhì)應(yīng)相同)。 4.^T~n G  
    *CPp