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    [技術(shù)]超構(gòu)光柵構(gòu)建——實例討論 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-09-05
    摘要                                                                             ;V(- ;O  
    *yJCnoF  
    超構(gòu)光柵通常由具有空間變化參數(shù)的納米柱組成，與傳統(tǒng)光柵相比，它具有優(yōu)越的性能�？梢越柚е橘|(zhì)在 VirtualLab Fusion 中設(shè)置此類光柵，在本例中，我們將展示如何正確配置超構(gòu)光柵設(shè)置。這包括介質(zhì)、材料的配置、支柱的幾何形狀以及支柱的空間分布。還給出了有關(guān)空間頻率數(shù)量設(shè)置的附加提示。 bJc<FL<E  
    juQ&v>9W)  
     {awv= s  
    P7GuFn/p~2  
    超構(gòu)光柵結(jié)構(gòu)和建模 UhuEE  
    YXE?b@W"  
                                                                                 yl|?+  
    )N[9r{3  
    VirtualLab Fusion提供： s*`_Ka57]~  
     Pillar Medium (General)，用于構(gòu)建超構(gòu)光柵和其他類似結(jié)構(gòu)，以安排圓形/矩形納米柱的分布; C/Vs+aW n  
     Fourier modal method (FMM)用于嚴(yán)格分析由此配置的超構(gòu)光柵在衍射效率，偏振靈敏度等方面的性能。 ([~9v@+  
    Il(p!l<Xz#  
    光柵周圍介質(zhì)   *Ag</g@ h  
    5WN^8`{'3  
                                                                                 Ay7I_" %  
    ,ra!O=d~0  
    • 光柵前后的介質(zhì)在光學(xué)設(shè)置編輯器中設(shè)置。 <<#-IsT  
    • 這些介質(zhì)必須根據(jù)調(diào)查的實際  情況進(jìn)行配置。 lej-,HX  
    • 作為光柵效率分析的慣例，襯底與周圍介質(zhì)之間的菲涅耳損耗通常被忽略(即結(jié)構(gòu)襯底的介質(zhì)與其背后的介質(zhì)應(yīng)相同)。 (_S`9Z8=  
    g ycjIy@t  
    光柵堆棧內(nèi)部材料 aRSGI ja<L  
    *?|LE C  
                                                                               *a_U2}N  
    $4K( AEt[  
    • 超構(gòu)光柵堆棧由Pillar Medium(General)和從兩側(cè)夾入介質(zhì)的兩個平面接口組成。 SMHQo/c r  
    • Pillar Medium(General)的配置對話框中，有兩種材料需要配置:柱子的材料和填充柱子間空間的材料。 e~ #;ux  
    • 這兩種材料的配置都獨立于系統(tǒng)中的任何其他材料。這意味著實現(xiàn)對物理現(xiàn)實的正確描述(即嵌入介質(zhì)與填充柱子之間空間的介質(zhì)一致)是用戶的責(zé)任。 2=Sv#  
    eF]`?AeWQ  
    單柱幾何配置 H&K(,4u^  
    S/ YT V  
                                                                             O <;Au|>*  
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    柱子的分布                                                                           ^%(HZ'$wC  
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