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設(shè)計(jì)和分析超透鏡
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透鏡
是一種透射
光學(xué)
裝置,通過(guò)改變相位來(lái)聚焦或發(fā)散光。與傳統(tǒng)透鏡不同,超透鏡的優(yōu)點(diǎn)是能夠在非常薄的膜層中使用
波長(zhǎng)
或更小尺寸的
結(jié)構(gòu)
來(lái)實(shí)現(xiàn)所需的相位變化,而不需要復(fù)雜和大量的透鏡組。在這個(gè)例子中,我們展示了使用圓柱形介電
納米
柱的超透鏡的設(shè)計(jì)過(guò)程。由于其納米級(jí)結(jié)構(gòu)和高折射率對(duì)比度,電磁場(chǎng)的全矢量建模是必不可少的。對(duì)于初始設(shè)置,使用了E.Bayata的工作中的
參數(shù)
。
-)ri,v{:c
PIsXX#`7;
[H`5mY@
Kt"4<'
設(shè)計(jì)任務(wù)
94rx4"AN8;
ej(w{vl
$z@nT.x5
f[OJqk
仿真
與設(shè)置:?jiǎn)纹脚_(tái)互操作性
dr"@2=Z
rO,n~|YJ
連接建模技術(shù):超透鏡
q^[SN
b%j4W)Z
xaIe7.Z"xo
bh5C
連接建模技術(shù):自由空間傳播
4`"Q!T_'
p|)j{nc
iA"H*0
H Mfhe[A?
接建模技術(shù):探測(cè)器
WD7T&i
sR$/z9w
vb\R~%@T,
3"6-X_
超透鏡設(shè)計(jì)工作流程
vrsOA@ee3H
&y2DI"Ff
創(chuàng)建理想相位
8U-<Q>
1~*JenV-
4}^\&K&t{
pA5X<)~
柱直徑與相位值
_^w^tfH]
tlmfDQD
G4f%=Z
"3a_C,\
圓柱分布設(shè)計(jì)
Y}Nd2
pH.&OW%
利用所需的光學(xué)函數(shù)和所選類型的超透鏡單元所提供的相位值,可以設(shè)計(jì)出橫向分布。對(duì)于這一步,使用一個(gè)模塊,它選擇適當(dāng)?shù)膱A柱直徑來(lái)產(chǎn)生所需相位的橫向分布。
h{VGhkU9f
Snas:#B!
Y&*nj`n
!2=eau^p
在圓柱分布設(shè)計(jì)期間,超透鏡的預(yù)期響應(yīng)和與初始期望函數(shù)的偏差也作為輸出傳遞:
F[oTc^dr
#_fL[j&
8.D9OpU
設(shè)置超透鏡
r1xhplHH@
|uln<nM9
>Co5_sCe
+dK;\wT
此外,圓柱的高度和形狀以及
材料
需要在柱形幾何圖形選項(xiàng)卡中正確配置:
*5S~@
f(*^zga,
->U9u lTC
^WIGd"^
超透鏡的橫向延伸在“周期”選項(xiàng)卡中配置:
z_ia3k<
f!##R-A
~YrO>H` B
l0{R`G,
產(chǎn)生的超透鏡結(jié)構(gòu)
#j${R={
8|\?imOp\[
^y&sKO
Q2!vO4!<N
模擬
工作流程 步驟#1
3R$*G8v
AU^5N3%j
為了模擬柱形結(jié)構(gòu)的函數(shù),采用了傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)。因此使用了帶有通用
光柵
組件的光柵專用光路。與在設(shè)計(jì)階段使用的方法相比,結(jié)果相位現(xiàn)在包括了附近不同納米柱之間的相互作用。
+,ojlTVlt
x]jJ
LO M-i>
^ Nm!b
模擬工作流程 步驟#2
*z\L
si3@R?WR6*
在第二步中,使用保存函數(shù)組件在一般光路中進(jìn)一步擴(kuò)展真實(shí)結(jié)構(gòu)的計(jì)算函數(shù)。
%u02KmV.
<Yy|.=6 D
);5H<[
ygfUy
對(duì)照
$n@B:kv5p
G^/8lIj
dgM@|&9*m
:Z5Twb3h
圓柱結(jié)構(gòu)導(dǎo)出
Eh&HN-&
yMbg1+:
為了導(dǎo)出所設(shè)計(jì)的柱形結(jié)構(gòu),通過(guò)一個(gè)模塊支持GDSII和基于文本的導(dǎo)出。
nf9NJ_8}4H
GbN|!,X1m
8P3"$2q
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