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- 注冊時間2020-06-19
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摘要 Ux+Q lSH6>0#B 直接設(shè)計非近軸衍射分束器仍然是一個挑戰(zhàn)。由于衍射角相當(dāng)大,元件的特征尺寸與工作波長在相同的數(shù)量級上。因此,設(shè)計過程超出了近軸建模方法。因此,在這個例子中,迭代傅里葉變換算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始設(shè)計結(jié)構(gòu),和傅里葉模態(tài)方法(FMM)隨后應(yīng)用于嚴格的性能評估。 T7f ${ nJ"
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t+Op@*#% @JRNb=?a 設(shè)計任務(wù) 5/O'R9A4 D\e8,,H 使用近軸近似的衍射1:7×7分束器的初步設(shè)計通過嚴格分析,進一步優(yōu)化零階均勻性和影響 pFJB'=c E_zIg+(+
1 `KN]Nt #Z5}2soA 光柵級次分析模塊設(shè)置 M'!U<Y
- [}fv dW 'FYJMIs 使用常規(guī)的分束器會話2編輯器,VirtualLabFusion提供了一個指導(dǎo)工具,允許用戶一步一步地指定所有影響分束器設(shè)計的參數(shù)。 <EST?.@~+ 5[Pr|AY
+Y+Y6Ac[} KWWa&[ev) YTw#JOO 1. 通過應(yīng)用設(shè)計帶中的結(jié)構(gòu)設(shè)計,所得到的傳輸函數(shù)可以轉(zhuǎn)換為結(jié)構(gòu)輪廓。 HEGKX] 2. 對于此轉(zhuǎn)換,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的結(jié)構(gòu)與初始相位函數(shù)成正比。 )Jv[xY~ 3. VirtualLab Fusion提供計算出的形式已經(jīng)預(yù)設(shè)在光路中。 f0T,ul, 4. 要在不同的模擬場景中使用這種結(jié)構(gòu),需要從組件內(nèi)部獲取實際的采樣表面或指定的堆棧。 v
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