俄羅斯科研人員使用激光脈沖代替光刻
俄羅斯國立研究型大學(xué)莫斯科電子技術(shù)學(xué)院科研人員,使用激光脈沖代替光刻開發(fā)出了一種為信息顯示設(shè)備創(chuàng)建元件的新技術(shù)。這將加速降低下一代顯示器和各種光學(xué)系統(tǒng)超表面的生產(chǎn)成本。研究結(jié)果發(fā)表在新一期《應(yīng)用表面科學(xué)》上。 超表面是帶有周期性圖案的結(jié)構(gòu),可用于控制電磁波和光波。在此基礎(chǔ)上,可使用介電材料、金屬材料以及相變材料。而相變材料能改變相態(tài),從而改變?nèi)Q于外部輻射的特性。 在由相變材料GST(鍺—銻—碲系統(tǒng)的化合物)制成的超表面的基礎(chǔ)上,研究人員開發(fā)了能借助光波顯示信息的新型緊湊型設(shè)備。其中包括超薄顯示器、增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)和虛擬現(xiàn)實(shí)耳機(jī)以及全息投影儀。然而,對薄膜表面進(jìn)行納米結(jié)構(gòu)化以將其轉(zhuǎn)變?yōu)槎喙δ鼙砻娴倪^程,迄今仍使用勞動密集型且成本高昂的光刻技術(shù)進(jìn)行。首先要在模板(掩模)上創(chuàng)建必要的超表面圖像,然后以選定的分辨率將其轉(zhuǎn)移到物體上。 |