我國首臺(tái)100%國產(chǎn)化的高端晶圓激光切割設(shè)備公布
華工科技最近成功制造出了我國首臺(tái)100%國產(chǎn)化的高端晶圓激光切割設(shè)備,該設(shè)備用于切割半導(dǎo)體晶圓。這是一項(xiàng)重要的成就,將對(duì)我國的半導(dǎo)體制造業(yè)發(fā)展起到積極的推動(dòng)作用。 ![]() 據(jù)華工科技激光半導(dǎo)體產(chǎn)品總監(jiān)黃偉介紹,半導(dǎo)體晶圓是一種硬脆材料,傳統(tǒng)激光在切割時(shí)會(huì)產(chǎn)生較大的熱影響和崩邊寬度,而華工科技的激光切割設(shè)備可以實(shí)現(xiàn)更細(xì)小的切割線寬,約為20微米,相比傳統(tǒng)激光的10微米左右有明顯的改進(jìn)。 ![]() |