1. 軟件簡介

TSolidX基于實際半導體工藝和掩模版圖設計的3D建模軟件,借助易于使用的UI，可以提供三種類型的3D建模結構（實體模型，曲面三角網格，3D四面體網格）作為可在商業(yè)CAD，CAE，CAM軟件中使用的各種CAx格式數據。

1.1 應用領域

TSolidX能生成多種3D模型：

 OLED像素結構；

 PCB襯底設計；

 散熱器結構；

 生物醫(yī)學傳感器；

 太陽能電池；

1.2 主要功能

 內置布局編輯器，并且可以通過Skill語言界面直接從其他商業(yè)布局運行；

 高級mesh生成技術：用多樣的結構生成功能創(chuàng)建真實的結構；

 可以定義各種堆棧信息和過程條件（厚度，臺階覆蓋率，平面度，錐度模型，非選擇性蝕刻，蝕刻阻擋層等），這些各種高級功能可以幫助生成準確的3D網格結構；

 提供了蝕刻工藝選項，包括非選擇性蝕刻，蝕刻停止劑，濕法蝕刻功能，半色調掩模進行的部分蝕刻；

 提供3種3D網格類型：錐形，錐形保形和曼哈頓；

 附加布局程序，為“ TSolid Viewer”，可以識別GDS文件以及2D掩膜板設計；

 有多種類型的CAx格式文件可用于導出數據：對于實體模型，提供了step和IGES格式，對于3D三角形網格，提供了STL, Stanford triangle, Nastran, alias/wavefront/autocad dxf等，為3D四方網格提供了Nastran，ansys，Gmsh，abaqus輸入格式，為滿足客戶的需求，也可以添加特定的格式文件；

 提供自適應和非結構化網格算法，可以控制邊緣，表面和體積條件；

 通過使用變量功能可以非常輕松快捷地生成各種3D網格結構，可設置的變量參數：厚度，水平度（平面化），錐角和寬度，CD余量，圓角倒圓和移位距離；

 支持分布式和并行計算方法

1.3 應用舉例

 下圖顯示了帶有體積網格的太陽能電池的輸出文件，從正面，側面和俯視圖來看，該文件稱為3D四方網格。

 執(zhí)行變形分析