哈哈,有人關(guān)注,真好! +n,8o:fU:
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我還不太了解顯微鏡,上面的表述可能有常識(shí)性錯(cuò)誤,海涵海涵! :FG}k Y
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所謂積分散射顯微鏡呢,主要是針對(duì)超光滑表面的,表面粗糙度1A量級(jí),比如微電子中的硅片,以及激光腔的反射片透射片等。 -B4uK
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原理很簡(jiǎn)單,入射光打到樣品表面,除了鏡面反射之外,在各個(gè)方向(樣品一側(cè)的2派弧度內(nèi))都有微弱的散射光(Scattering),其強(qiáng)度分布可以從衍射理論推出,稱為ARS分布;而把ARS在半球空間內(nèi)積分,稱為總積分散射(TIS),理論表明,TIS與樣品表面粗糙度之間有個(gè)簡(jiǎn)單的關(guān)系,故可以通過測(cè)量TIS來得到樣品的表面形貌。 IL.Jx:(0
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所謂非接觸主要是針對(duì)原子力顯微鏡(AFM)來講的,因?yàn)锳FM是可以測(cè)量到1A量級(jí)的,但是會(huì)損傷表面。 ,EZ&n[%Ko
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注:A為10的-10次方米。 y{u6t 3
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不知我講清楚沒有,歡迎大家繼續(xù)討論。