近期，中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所精密光學(xué)制造與檢測中心實(shí)驗(yàn)室在碳化硅表面飛秒激光改性提升拋光效率研究方面取得進(jìn)展。研究發(fā)現(xiàn)通過飛秒激光對預(yù)涂有Si粉的RB-SiC表面進(jìn)行改性，能夠獲得結(jié)合強(qiáng)度為55.46N的表面改性層。且改性后的RB-SiC的表面僅經(jīng)過4.5小時的拋光，即可得到表面粗糙度Sq為4.45nm的光學(xué)表面，與直接研磨拋光相比，拋光效率提高了3倍以上。該研究成果拓展了RB-SiC的表面改性方法，并且激光的可控性和該方法的簡單性，使得它可以用于復(fù)雜輪廓的RB-SiC表面改性處理。相關(guān)成果發(fā)表在Applied Surface Science（《應(yīng)用表面科學(xué)》）上。 CW,Wx: