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光柵的嚴(yán)格分析 Y[R;UJE`5
cWU9mzsE VirtualLab使用傅里葉模式法（FMM）實(shí)現(xiàn)2D和3D光柵的嚴(yán)格仿真，包括： xw J. cy • 表面光柵 G u4 mP • 體光柵 Sb |9U8h • 衍射光柵 au;ZAXM| • 全息光柵 Ovhd%qV;Y • 布拉格光柵 vVy X[ZZ • 零階光柵 j3Yz=bsQ{c • 蛾眼結(jié)構(gòu) w=Yc(Y: h 該分析包括偏振效應(yīng)（TE-TM或xy坐標(biāo)系），傾斜的自由定位和一般入射波. u D0<|At/ %7wNS 兩界面之間光柵的金字塔式3D表面光柵和折射率調(diào)制
結(jié)果與可視化 \i.Yhl:O
?= R C?K 下面的數(shù)據(jù)可以作為分析的結(jié)果被計算和可視化： 0 |ch RX • 衍射效率：表格和極坐標(biāo)圖 bd;?oYV~ • 反射，透射，吸收 3;'R F#VL • 近場 l h]Q\ • 光柵內(nèi)部區(qū)域 v;ZIqn " 數(shù)值的精度可以通過參數(shù)運(yùn)行控制,近似幾何光學(xué)方法可用于長周期光柵的快速計算。 n7 p,{ KSQ 對于一個1d的光束分離器（左）和一個正弦表面光柵效率圖（右）
Uaz$<K6 系統(tǒng)和應(yīng)用程序 U3tA"X.K
1"fbQ^4` 光柵正在在光學(xué)應(yīng)用越來越廣泛。應(yīng)用范圍包括： U{Xx)l/o • 減反結(jié)構(gòu) Nu[0X • 起偏器 ,3,(/%=k • 光譜 7Ap==J{a • 衍射光束分束器 Q13>z%Rge • 光伏發(fā)電系統(tǒng) >"|"Gy ( • 光纖耦合 U?e.)G • 人造材料 DlF6tcoI • 光子晶體 B.Y8O^rx • 晶圓檢測系統(tǒng) @x[Arx^?} 
rk)h_zN 圓柱形微
透鏡陣列，具有
納米尺寸的防反射結(jié)構(gòu)
減反光柵的設(shè)計 A>B_~=
0ME.O +
可以用二維和三維光柵來設(shè)計防反射結(jié)構(gòu)。VirtualLab為光柵和可編程分界面提供了廣泛的模版，為描述用戶自定義光柵結(jié)構(gòu)提供了無限制的靈活性。參數(shù)運(yùn)行和參數(shù)優(yōu)化可用于給定目標(biāo)函數(shù)條件下的結(jié)構(gòu)優(yōu)化，例如要求反射率最小。 XNaiMpp'
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光柵和反射率取決于立柱結(jié)構(gòu)的直徑：反射率最低在140納米處 3q)y;T\y W
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例如枕型亞波長光柵可以被用來控制一個表面的反射率。VirtualLab提供了傅立葉模式法來分析與優(yōu)化3D光柵結(jié)構(gòu). 還可對其它更多的參數(shù)進(jìn)行考察，如波長。 7f_tH_(
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偏振光柵的設(shè)計 @ #1T-*
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光柵可以用來控制透射光的偏振。VirtualLab可以設(shè)計這種偏振光柵。 Y q (CD!
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對于可見光的光譜（左），用于改變狹縫寬度和矩形光柵的調(diào)制深度的最低偏振對比度可以被計算（右）。 %^
