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    [技術(shù)]粗糙表面光柵的模擬 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-05-23
    即將模擬一個具有隨機粗糙表面的正弦光柵。此模擬是通過使用VirtualLab中的一般二維光柵（General Grating 2D）元件堆棧中的可編程光學(xué)界面來完成的。 " 9@,l!  
     ^agj4$  
    關(guān)鍵詞：光柵，光柵工具箱，粗糙表面，可編程光學(xué)界面，光柵元件 "cMNdR1^,y  
     5`~mqqR5  
    要求工具箱：光柵工具箱 <F7V=Er  
     D`VFf\7  
    相關(guān)應(yīng)用案例：案例090.01，案例246.01 xc;DdK=1X  
    d+6]u_J  
    一、模擬任務(wù)： R \5Vq$Q  
    二、光柵的描述 rjUBLY1(  
     p0M=t-  
    1. 原始表面輪廓是一個平滑的正弦曲線輪廓，其周期為5μm，調(diào)制深度為468nm（使得最內(nèi)側(cè)三個級次的效率相同）。 6NX3"i0 eT  
     \D?:J3H*]  
    2. 該正弦曲線輪廓疊加入一個隨機的變化，由VirtualLabTM中的可編程光學(xué)界面來模擬。 +TN^NE  
     %/T7Z; d  
    3. 用于模擬粗糙度的該代碼片段有兩個物理參數(shù)：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和總高度調(diào)制（Total Height Modulation）。使用種子（Seed）變量可以確定任意數(shù)目的生成器以獲得一個可再生的結(jié)果。 =i>\2J%'R  
     :)IV!_>'d  
    4. 變量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” -U -P}6^  
     MzzKJ;wbC6  
    下面將展示所得高度輪廓以及所得效率的圖，其“總的高度調(diào)制（Total Height Modulation）”為50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為不同的值。 rbyY8 bX  
     /r^[a,Q#x  
    1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為0 :.uk$jx  
    aMTFW_w  
    `T"rG }c  
    LjaGyj>)  
    2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為100nm *Qkc[XHqy  
    _BS 9GB  
    m`6VKp{YD  
    3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為500nm -(#-I $z  
    :#u}.G  
    .Evy_o\^  
    4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為1000nm 5~+XZA#2  
    p|qyTeg  
    7I}P*%(f  
    5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”為1500nm n ~,t QV  
    |P~;C6sf