關(guān)鍵詞:光線追跡,高數(shù)值孔徑,點(diǎn)列圖,光斑尺寸 8?Zhh.
G*9(O: 1. 描述 6?a`'& ■ 該案例中闡述了如何利用VirtualLab對(duì)一個(gè)具有高數(shù)值孔徑的透鏡系統(tǒng)進(jìn)行分析。 G80N8Lm ■ 我們將對(duì)焦面前和焦面上對(duì)三維光線結(jié)構(gòu)和二維點(diǎn)列圖進(jìn)行討論。 7ws<' d7/ ■ 此外,VirtualLab可用于測(cè)量焦平面上的光斑尺寸。 M=iTwK
?+]=|hN 2. 系統(tǒng) |.k'?! i(4<MB1a 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Yc[umn^K 3. 透鏡系統(tǒng)組件編輯 vhBW1/w&F
03~ ADj
■ 在光路視圖中雙擊透鏡系統(tǒng)元件,可以顯示元件編輯窗口。 s+:|b~
■ 透鏡系統(tǒng)是由序列光學(xué)表面(OIS)定義的。 )ce 6~
■ 每一個(gè)可選項(xiàng)都有獨(dú)立的參數(shù),并可以設(shè)定。 I[?\Or
■ 包括序列光學(xué)表面和光學(xué)介質(zhì)。 ]$/oSa/
j4/[Z'5ny +4 k=Y 4. 光線追跡系統(tǒng)分析器-選項(xiàng) .~i|kc]Ue Da-Lf2qT9 pwFdfp
■ 分析器允許用戶指定使用光源的光線選項(xiàng)。 {w2]
Is2F
■ 可以選擇選取光線的方法: 3L&:
— 在x-y-網(wǎng)格 COw"6czX/
— 六邊形 w~@"r#-
— 自由選取 .8YxEnXw)(
■ 每一個(gè)可選項(xiàng)都有獨(dú)立的參數(shù),并可以設(shè)定。 h4]^~stI A4"TJZBg} 5. 系統(tǒng)的3維視圖 =mYf]
PIX `vBBJ@f4)
#QwkRzVoy 6. 其他系統(tǒng)參數(shù) e\6H.9= ■ 系統(tǒng)由單色平面波照明 Bt<)1_ ■ 照明波長(zhǎng)266.08nm ^+yz}YFM ■ 后端的探測(cè)器用來(lái)分析透鏡系統(tǒng)的性能: S70#_{ — 一個(gè)虛擬屏直接放在透鏡系統(tǒng)后面。 7eCjp — 一個(gè)虛擬屏位于焦平面 s[8. l35| — 光束尺寸探測(cè)器置于焦平面 I0mp