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    [技術(shù)]利用光線追跡分析高數(shù)值孔徑透鏡系統(tǒng) [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-05-10
    關(guān)鍵詞光線追跡,高數(shù)值孔徑,點(diǎn)列圖,光斑尺寸 8?Zhh.  
    G*9(O:  
    1. 描述 6?a`'&  
    該案例中闡述了如何利用VirtualLab對(duì)一個(gè)具有高數(shù)值孔徑的透鏡系統(tǒng)進(jìn)行分析。 G80N8Lm  
    我們將對(duì)焦面前和焦面上對(duì)三維光線結(jié)構(gòu)和二維點(diǎn)列圖進(jìn)行討論。 7ws<' d7/  
    此外,VirtualLab可用于測(cè)量焦平面上的光斑尺寸。 M=iTwK  
    ?+]=|hN  
    2. 系統(tǒng) |.k'?!  
    i(4<MB1a  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Yc[umn^K  
    3. 透鏡系統(tǒng)組件編輯 vhBW1/w&F  
    03~ ADj  
    在光路視圖中雙擊透鏡系統(tǒng)元件,可以顯示元件編輯窗口。 s+:|b~  
    透鏡系統(tǒng)是由序列光學(xué)表面(OIS)定義的。 )ce 6~   
    每一個(gè)可選項(xiàng)都有獨(dú)立的參數(shù),并可以設(shè)定。 I[?\ Or  
    包括序列光學(xué)表面和光學(xué)介質(zhì)。 ]$/oSa/  
    j4/[Z'5ny  
    +4 k=Y  
    4. 光線追跡系統(tǒng)分析器-選項(xiàng) .~i|kc]Ue  
    Da-Lf2qT9  
    pwFdfp  
    分析器允許用戶指定使用光源的光線選項(xiàng)。 {w2] Is2F  
    可以選擇選取光線的方法: 3L&:  
    — 在x-y-網(wǎng)格 COw"6czX/  
    — 六邊形 w~@"r#-  
    — 自由選取 .8YxEnXw)(  
    每一個(gè)可選項(xiàng)都有獨(dú)立的參數(shù),并可以設(shè)定。
    h4]^~stI  
    A4"TJZBg}  
    5. 系統(tǒng)的3維視圖 =mYf] PIX  
    `vBBJ@f4)  
    #QwkRzVoy  
    6. 其他系統(tǒng)參數(shù) e\6H.9=  
    系統(tǒng)由單色平面波照明 Bt<)1_  
    照明波長(zhǎng)266.08nm ^+yz}YFM  
    后端的探測(cè)器用來(lái)分析透鏡系統(tǒng)的性能: S70#_{  
    — 一個(gè)虛擬屏直接放在透鏡系統(tǒng)后面。 7eCj p  
    — 一個(gè)虛擬屏位于焦平面 s[8. l35|  
    光束尺寸探測(cè)器置于焦平面  I0mp