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摘要 m U
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 hS*&p0YV~M KJv%t_4'F 橢圓偏振儀是一種光學(xué)測(cè)量方法，通常用于確定薄膜的介電特性。測(cè)量涉及確定不同波長(zhǎng)和入射角下從樣品反射或透射時(shí)光偏振態(tài)的變化。因此，它可用于表征成分、粗糙度、厚度、結(jié)晶性能、導(dǎo)電性和其他材料特性。它對(duì)入射輻射與所研究材料相互作用的光學(xué)響應(yīng)變化非常敏感。此用例演示了橢圓偏振儀的基本原理，并說明了 VirtualLab Fusion中內(nèi)置橢圓偏振分析器的使用。 m 9\"B3sr w^=(:`
橢圓偏振儀的基本原理 f$9|qfW'$
Ujlbcv6+ 當(dāng)線偏振光(分解為一個(gè)偏振平行(𝐸p,i)和一個(gè)垂直于入射面(𝐸s,i)的波)與電介質(zhì)相互作用時(shí)，偏振態(tài)會(huì)發(fā)生變化。從入射波和反射(或透射)波之間的相移(𝛥)，以及反射(或透射)振幅的比值(tan(𝛹))，可以推導(dǎo)出介質(zhì)的介電特性(𝑛, 𝑘)。 !
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