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    [技術]JCMsuite應用：一維周期線柵 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-05-05
    這是一維周期線柵的簡單案例。周期單元包含通過光柵的二維截面。在這種情況下，線柵的橫截面呈梯形，它位于襯底上，被背景材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(線柵)、玻璃(基底)和空氣(背景材料)。 ' @j8tK  
    光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分布。下圖顯示了當波長為193nm時，平面波從襯底側垂直入射到結構內的近場強度。 9K{0x7~  
    S偏振光照明的近場強度
    P偏振光照明的近場強度 |CjdmQ u  
    后處理傅里葉變換計算透射衍射級次的振幅。 f=40_5a6  
     om,=.,|Ld  
    參數(shù)掃描 {>#4{D00  
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