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    [技術(shù)]高數(shù)值孔徑衍射分束器設(shè)計(jì) [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-04-25
    關(guān)鍵詞： 衍射光學(xué)元件、DOE、高數(shù)值孔徑，畸變補(bǔ)償，幾何畸變，枕形，桶形，強(qiáng)度衰減，功率、陡降、損耗、預(yù)備信號(hào)場(chǎng)、光圖形、迭代傅里葉變換算法、IFTA、模組、分束器、衍射 0m)&Y FZ[(  
     |/T43ADW  
    1. 摘要 B42sb_  
     &leK}je [  
     通過(guò)該案例闡述了如何利用迭代傅里葉變換算法進(jìn)行高數(shù)值孔徑衍射分束器設(shè)計(jì)。 $$1qF"GF  
     通過(guò)來(lái)分束器可以生成一個(gè)5x5規(guī)則的點(diǎn)陣圖形。 NXU`wnVJ  
     然而，由于偏轉(zhuǎn)角較大使得目標(biāo)平面上這個(gè)規(guī)則的5x5點(diǎn)陣圖案產(chǎn)生了一個(gè)形變。 d,9`<1{9  
     可以利用VirtualLab 模塊 Mod014 在迭代傅里葉變換算法設(shè)計(jì)中預(yù)補(bǔ)償該圖形的形變。 _0(7GE13p  
    GwLFL.Ke  
    2. 設(shè)計(jì)任務(wù)：規(guī)則的5×5光束分束器 =SBBvnPLI  
     GEe`ZhG,  
    VKW|kU7Cs$  
     設(shè)計(jì)衍射分束器用于在衍射元件遠(yuǎn)場(chǎng)生成規(guī)則的高數(shù)值孔徑光圖形。 >oJkJ$|wU  
     最大衍射角(水平/豎直)：α=β=22.3° o6L9UdT   
     最大衍射角(對(duì)角線)=30.1° zp4W'8  
     X_ ?97iXjx  
    3. 設(shè)計(jì)任務(wù) .C bGDZ  
     p#@Z$gTH`'  
    光源參數(shù)： KnzsHli,~k  
    — 高斯光源波長(zhǎng)：532nm UVEz;<5@\  
    — 光束直徑(1/e2)：80um CxF-Z7 '  
    系統(tǒng)參數(shù)： I%lE;'x  
    — 衍射元件到屏幕距離：z=0.3m ,pt%) c  
     期望輸出場(chǎng)： i::\Z$L";i  
    — 期望點(diǎn)圖形：規(guī)則圖形，5×5的點(diǎn)陣 %b}gDWs  
    — 級(jí)次間距：49.2mm s;1h-Oq (  
    — 目標(biāo)圖案依據(jù)示例文件 ziEz.Wn"  
    “Sc386_TargetPattern_1.ca2” ^^Jnv{)  
     DOE參數(shù)： +j[oE