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關(guān)鍵詞: 衍射光學(xué)元件、DOE、高數(shù)值孔徑,畸變補(bǔ)償,幾何畸變,枕形,桶形,強(qiáng)度衰減,功率、陡降、損耗、預(yù)備信號場、光圖形、迭代傅里葉變換算法、IFTA、模組、分束器、衍射 o)KF+[^ 22|eiW/a 1. 摘要 ]]$s"F< nMD^x 通過該案例闡述了如何利用迭代傅里葉變換算法進(jìn)行高數(shù)值孔徑衍射分束器設(shè)計(jì)。 PYqx&om 通過來分束器可以生成一個(gè)5x5規(guī)則的點(diǎn)陣圖形。 WO$PW`k 然而,由于偏轉(zhuǎn)角較大使得目標(biāo)平面上這個(gè)規(guī)則的5x5點(diǎn)陣圖案產(chǎn)生了一個(gè)形變。 T#^ 可以利用VirtualLab 模塊 Mod014 在迭代傅里葉變換算法設(shè)計(jì)中預(yù)補(bǔ)償該圖形的形變。 $rDeI-)S _3h(R`VdWO 2. 設(shè)計(jì)任務(wù):規(guī)則的5×5光束分束器 C>Qgd9 cj-P&D[Ny[ <CJua1l\ 設(shè)計(jì)衍射分束器用于在衍射元件遠(yuǎn)場生成規(guī)則的高數(shù)值孔徑光圖形。 \`o+Le+% 最大衍射角(水平/豎直):α=β=22.3° ,FX;-nP% 最大衍射角(對角線)=30.1° !o 2"th AJSe +1 3. 設(shè)計(jì)任務(wù) sT
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