關(guān)鍵詞：光線追跡，高數(shù)值孔徑，點(diǎn)列圖，光斑尺寸 1. 描述 ■ 該案例中闡述了如何利用VirtualLab對一個(gè)具有高數(shù)值孔徑的透鏡系統(tǒng)進(jìn)行分析。 ■ 我們將對焦面前和焦面上對三維光線結(jié)構(gòu)和二維點(diǎn)列圖進(jìn)行討論。 ■ 此外，VirtualLab可用于測量焦平面上的光斑尺寸。 2. 系統(tǒng) 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd 3. 透鏡系統(tǒng)組件編輯 ■ 在光路視圖中雙擊透鏡系統(tǒng)元件，可以顯示元件編輯窗口。 ■ 透鏡系統(tǒng)是由序列光學(xué)表面（OIS）定義的。 ■ 每一個(gè)可選項(xiàng)都有獨(dú)立的參數(shù)，并可以設(shè)定。 ■ 包括序列光學(xué)表面和光學(xué)介質(zhì)。 4. 光線追跡系統(tǒng)分析器-選項(xiàng) ■ 分析器允許用戶指定使用光源的光線選項(xiàng)。 ■ 可以選擇選取光線的方法： — 在x-y-網(wǎng)格 — 六邊形 — 自由選取 ■ 每一個(gè)可選項(xiàng)都有獨(dú)立的參數(shù)，并可以設(shè)定。 5. 系統(tǒng)的3維視圖 6. 其他系統(tǒng)參數(shù) ■ 系統(tǒng)由單色平面波照明 ■ 照明波長266.08nm ■ 后端的探測器用來分析透鏡系統(tǒng)的性能： — 一個(gè)虛擬屏直接放在透鏡系統(tǒng)后面。 — 一個(gè)虛擬屏位于焦平面 — 光束尺寸探測器置于焦平面 ■ 焦平面位于透鏡系統(tǒng)后端748.86um處。 7. 光線追跡系統(tǒng)分析器的結(jié)果 光線經(jīng)過整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)的三維視圖 光線經(jīng)過整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)的三維視圖（局部放大） 8. 透鏡系統(tǒng)后虛擬屏的結(jié)果 ■ VirtualLab可用于計(jì)算點(diǎn)列圖。 ■ 左側(cè)圖片顯示了直接位于透鏡后的虛擬屏所獲得的點(diǎn)列圖。 ■ 默認(rèn)情況下光線顯示的顏色比此波長的顏色。本案例中我們使用的是非可見光。 ■ 你可以通過下面的操作將背景顏色該為白色 9. 焦平面上的結(jié)果 ■ 在左側(cè)圖片中可以看到焦平面上計(jì)算出的點(diǎn)列圖。 ■ 在探測器結(jié)果（Detector Result） 標(biāo)簽下，給出了光束尺寸。 ■ 焦平面上的光斑尺寸為183mm ■ 此外，背景顏色也可以預(yù)先設(shè)置。 ■ 該測量采用均方根（RMS）計(jì)算法。 10. 總結(jié) ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光線追跡引擎對復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行分析。 ■ 利用三維光線追跡我們可以對系統(tǒng)進(jìn)行分析，并對位置等信息進(jìn)行概覽。 ■ 此外，系統(tǒng)可以直接利用光線追跡引擎進(jìn)行分析。 ■ 可用于評價(jià)點(diǎn)列圖，也可以附加其他探測器（如光斑尺寸探測器）。 | 
