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    [技術(shù)]高數(shù)值孔徑圖形圖案擴(kuò)散器的設(shè)計(jì)與優(yōu)化 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-04-11
    關(guān)鍵字：大角度設(shè)計(jì)，補(bǔ)償，枕形，桶形，畸變，強(qiáng)度衰減，信號(hào)場(chǎng)準(zhǔn)備，衍射光學(xué)元件，損耗，期望光目標(biāo)圖案，迭代傅里葉變換算法 '.C#"nY>1  
     `3`.usw  
    1. 建模描述 &x;n^W;#  
    設(shè)計(jì)擴(kuò)散器以在遠(yuǎn)場(chǎng)生成高數(shù)值孔徑光圖案 F)v  
    光源參數(shù)： <@Vf:`a!P>  
    — 高斯光源波長(zhǎng)：532nm nxNHf3   
    — 根據(jù)最終的衍射光學(xué)元件選擇合適的直徑 LR';cR;  
    系統(tǒng)參數(shù)： Ubgn^+AI  
    — 衍射元件到屏幕距離：z=0.5m VJ?>o  
     輸出場(chǎng)要求： SPXv i0Jg  
    — 期望光圖案：1.0m×0.5m網(wǎng)格 9Q!Z9n"8~)  
    — 光圖案期望分辨率：±0.5mm \BN$WV  
    （目標(biāo)平面上相鄰衍射級(jí)次間的最小距離：∆xTP=1mm（離軸）） dMCoN8W  
    — 目標(biāo)圖案來源于文件 kdp^{zW}  
    “Sc385_HighNA_DiffuserDesign_01_DesiredLightPattern.bmp” Y B,c=Wx  
     衍射光學(xué)元件參數(shù)： dFA1nn6{  
    — 衍射元件的相位階數(shù)：4 \j5`6}zm  
     K:GEC-  
    2. 設(shè)計(jì)類型與步驟 lQBE q"7$  
     !0vLSF=  
    遠(yuǎn)場(chǎng)應(yīng)用 %M))Ak4 ~a  
    優(yōu)化衍射光學(xué)元件用以生成高數(shù)值孔徑角分布。 w`=O '0d  
     )(_NFpM  
    信息 k61mRO  
    衍射光學(xué)元件在波數(shù)域上生成一個(gè)角分布(kx，ky)。 *C<;yPVc  
     _ Yc"{d3S  
    設(shè)計(jì)步驟 !zllv tK4  
    A. 計(jì)算衍射光學(xué)元件的像素尺寸、周期和像元數(shù)。 Ow.DBL)x'>  
    B. 根據(jù)參數(shù)計(jì)算結(jié)果預(yù)先設(shè)置傅里葉迭代法優(yōu)化文檔。 +I3O/=)  
    C. 根據(jù)靶面上期望的光強(qiáng)分布在波數(shù)域上生成一個(gè)具有預(yù)補(bǔ)償角的光分布，并作為設(shè)計(jì)目標(biāo)圖形。可以類似的定義一個(gè)特定的優(yōu)化范圍。 ?c+$9  
    D. 傅里葉迭代法優(yōu)化文件的最終設(shè)置(定義實(shí)際的設(shè)計(jì)目標(biāo)圖案)。 =,h'}(z_  
    A. 計(jì)算 JgA{1@h  
    1. 根據(jù)信號(hào)場(chǎng)沿x方向擴(kuò)展的一個(gè)合理的初始值計(jì)算衍射光學(xué)元件的最小像素（特征）尺寸(此處xmax SF僅有0.75m): 79D~Mau#  
    S[zGA<}  
    將此值近似到一個(gè)可加工尺寸 (∆x’DOE)以兼顧制造者加工過程中對(duì)于位置增加以及最小特征尺寸的加工能力。此處近似后，∆x’DOE=320nm。根據(jù) GC'