近日，清華大學(xué)深圳國(guó)際研究生院李星輝副教授團(tuán)隊(duì)與國(guó)防科技大學(xué)團(tuán)隊(duì)合作提出了一種基于反射型二維光柵的外差式三自由光柵干涉儀。團(tuán)隊(duì)自主設(shè)計(jì)具有高光敏度、高頻差和高信噪比的雙頻激光系統(tǒng)，基于二維反射型光柵和采用創(chuàng)新的共光路設(shè)計(jì)，搭建三自由度位移測(cè)量系統(tǒng)，設(shè)計(jì)并優(yōu)化外差信號(hào)相位檢測(cè)算法，最終實(shí)現(xiàn)了亞納米的測(cè)量分辨率和重復(fù)定位精度。這項(xiàng)工作將有效推動(dòng)多自由度光柵精密定位技術(shù)的發(fā)展。 yWf`rF{  
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