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    [討論]關(guān)于高速超精密激光干涉儀 [復(fù)制鏈接]

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    離線gangzi0801
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-02-17
    關(guān)鍵詞： 激光干涉儀
    哈工大成功研制出了高速超精密激光干涉儀，目前可用于350nm到28nm工藝的光刻機(jī)樣機(jī)集成研制和性能測試，意味著我們離光刻機(jī)又近了一步。 =LJc8@<:f  
    DB'pRo+U  
    大家一起來交流一下，關(guān)于高速超精密激光干涉儀的知識和技術(shù)吧。
     
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