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Zemax光學設(shè)計從入門到精通	Zemax光學設(shè)計從基礎(chǔ)到實踐	成像衍射光學元件設(shè)計及應(yīng)用	現(xiàn)代光學與光子學技術(shù)
訊技光電:VirtualLab Fusion獨家供應(yīng)商	微小光學與微透鏡陣列	光學設(shè)計與光學元件	計算光學帶來的成像革命

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[技術(shù)]光學斷層掃描干涉法 [復制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2023-02-09

掃描干涉法是實現(xiàn)表面高度測量的技術(shù)。通過利用白色光源的低相干性，只有當光程差在相干長度內(nèi)，干涉圖案才會出現(xiàn)。因此，它使精確微觀測量成為可能。使用一個氙燈搭建了一個邁克耳孫干涉儀，用于測量具有平滑變化前表面的樣品。

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