研究人員揭示硅上激光誘導(dǎo)的周期性表面結(jié)構(gòu)的秘密
我們?nèi)粘J褂玫碾娮雍?span onclick="sendmsg('pw_ajax.php','action=relatetag&tagname=光學(xué)',this.id)" style="cursor:pointer;border-bottom: 1px solid #FA891B;" id="rlt_3">光學(xué)設(shè)備,如移動電話、LED和太陽能電池,使用的晶體管和其他成分不斷變得更小、更緊湊。隨著對計算能力、存儲和能源效率的需求不斷增長,這種趨勢只會繼續(xù)發(fā)展到新的極致。 為電子設(shè)備生產(chǎn)如此小的部件需要加工和制備亞微米尺度的結(jié)構(gòu),最多可以比人類頭發(fā)的寬度小數(shù)百倍。但目前的納米表面加工方法使用的是光刻和電子束光刻--這些方法復(fù)雜、極其昂貴,通常無法進(jìn)入,而且需要高水平的專業(yè)知識。 激光誘導(dǎo)的周期性表面結(jié)構(gòu)(LIPSS)已被指定為這些方法的一個新的和有前景的替代方法。在LIPSS中,飛秒激光器被用來提供超短的激光脈沖,從而在表面上自發(fā)地形成比激光波長小得多的周期性圖案。 LIPSS中一個眾所周知的參數(shù)是激光波長的選擇,它直接影響到所形成結(jié)構(gòu)的周期性。然而,其他參數(shù)仍然是未知的。關(guān)于LIPSS的標(biāo)準(zhǔn)化使用的主要關(guān)注點包括形成的表面結(jié)構(gòu)的質(zhì)量,即基材的結(jié)晶度、潛在的缺陷和應(yīng)變。為了始終如一地生產(chǎn)出具有可控性能和特點的LIPSS,以滿足特定的應(yīng)用,關(guān)鍵是要了解哪種激光源應(yīng)該用于哪種特定的需求。 ![]() 通過對激光特性的適當(dāng)選擇,激光誘導(dǎo)的周期性表面結(jié)構(gòu)(LIPSS)可以通過操縱其缺陷、應(yīng)變和周期性,為特定的應(yīng)用進(jìn)行調(diào)整和定制。資料來源:名古屋工業(yè)大學(xué)的Reina Miyagawa |