q- Qws0\v. 當(dāng)用近軸光
照明時(shí)，亞
波長光柵僅產(chǎn)生一個(gè)
衍射級(jí)，因此在這種情況下無法成
圖像。為了克服這一問題，可以使用非傍軸照明。如在此示例中，采用高NA聚光
透鏡來為具有不同周期的光柵提供高度聚焦的照明，并且該衍射場將由另一個(gè)高NA物鏡采集。
VirtualLab可以
模擬這樣的
成像過程，包括使用傅立葉模態(tài)法對亞波長光柵進(jìn)行嚴(yán)格模擬。
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p\WUk@4 5^dw!^d 1. 建模任務(wù) EyeLC6u
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