H~TuQ 光學干涉裝置廣泛用于精密的表面或波前測試和細節(jié)分析，特別是菲索
干涉儀作為工業(yè)上應用最廣泛的表面輪廓檢測技術之一，正占據(jù)著重要的地位。我們在
VirtualLab Fusion中構建了一個基于斐索干涉儀的測試
光學系統(tǒng)，使用幾種類型的表面作為測試對象，并觀察不同的干涉條紋。此外，還介紹了用于
鏡頭測試的馬赫-曾德爾干涉儀。
7H09\ g & 用于光學測試的菲索干涉儀 Y j'9|4%+|
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iw[ 利用非
序列場追跡技術建立了菲索干涉儀，給出了不同測試表面的干涉條紋。
qTK(sW 馬赫-曾德爾干涉儀
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(q,T$7 W , p3]`MG D+v ?zQw 我們在VirtualLab Fusion中構建了馬赫-曾德爾干涉儀，并演示了元件的傾斜和偏移對干涉條紋的影響
