近日,光谷企業(yè)成功研發(fā)出全國首款完全自主可控的OPC軟件。OPC軟件,即“
光學(xué)鄰近校正
軟件”,是
芯片設(shè)計(jì)工具EDA的一種,沒有它,即使用了光刻機(jī),也造不出芯片。
|sa{!tKJ
`vkNp8| sk0N=5SB- 記者尚大原:“所謂光刻,就是把這個(gè)黑色版圖上的
電路圖形通過光學(xué)
成像的方式呈現(xiàn)在這塊紅色的硅片上,就像是照
相機(jī)照相片,但是隨著芯片關(guān)鍵尺寸從90nm到32nm不斷降低,相片上的圖形會(huì)不可避免地出現(xiàn)失真,而OPC軟件就是避免這種失真!
=U:9A=uEvS lu]Z2xSv qN