^O#,%>1J  
對于許多應用來說（例如背光、光學連接器和近眼顯示），如何將光高效地耦合到波導結(jié)構(gòu)中是一個重要的問題。對于這些應用，傾斜光柵因為能夠高效地耦合單色光而被熟知。在此示例中，介紹了使用嚴格的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）對傾斜光柵進行優(yōu)化。對于給定的方向級次，優(yōu)化的光柵展示出超過90％的衍射效率。此外，還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 ZNFn^iuQ  
6aCAz2/  
_zJY1cr  
     ]5x N^7_!j  
設計任務 |=l;UqB  
Gi]Pwo${  
PLg`\|  
Hh$D:ZO  
1級參數(shù)優(yōu)化 iK(n'X5i  
yXc/Nl%  
],>Z'W  
eXnMS!g%Z  
結(jié)果-容差分析 cli
P+#  
\M="R-&b  
qQ/j
+  
$4