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    [技術(shù)]分析高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦特性 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2022-11-22
    tX#8 G09G+  
    高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此,在仿真聚焦時考慮光的矢量性質(zhì)是至關(guān)重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡光線和場追跡分析。通過場追跡分析,可以清楚地顯示出由于矢量效應(yīng)引起的非對稱焦點。相機探測器和電磁場探測器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場,也可以深入研究矢量效應(yīng)。 A(Ss:7({  
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    概述 .j)f'<;%  
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    •案例系統(tǒng)已預(yù)先設(shè)置了高數(shù)值孔徑物鏡。 i>`!W|=_  
    •接下來,我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統(tǒng)上執(zhí)行仿真。 g/ict 2!  
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    光線追跡仿真 E5J2=xVW#  
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    •首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”作為模擬引擎。 Uj[E_4h  
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    •獲得了3D光線追跡結(jié)果。 V@"Y"}4n4  
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    光線追跡仿真 9 Z