白光
干涉儀是一種非接觸測量技術(shù),用于如表面輪廓或微小位移的高
精度測量。利用一個(gè)邁克爾遜
干涉儀系統(tǒng)和一個(gè)氙燈
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一個(gè)白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等
光譜特性,結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長度基本相同時(shí)才會出現(xiàn)干涉圖樣。
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J| w>a Tw-;7Ae 3. 干涉條紋的變化 GBPo8L"9
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asppRL|| NXrJfp 4. 走進(jìn)VirtualLab Fusion 3EPv"f^V
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vg32y /l]S X}Ai-D 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 rX2.i7i, W')Yg5T - 使用“參數(shù)運(yùn)行”檢查影響/變化
i9,geQ7d <Zmg# 6. VirtualLab Fusion 技術(shù) ;,%fE2c .1Dg s=| rlOAo`hd