m'Z233Nt" 光柵的
衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計(jì)算得到,對(duì)于光柵的每個(gè)衍射階次都給出了這兩個(gè)量。
VirtualLab Fusion可通過(guò)全矢量的傅里葉模態(tài)法(FMM,也稱(chēng)為RCWA)來(lái)計(jì)算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器,可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。
>Mj :' 2/=CrK y;Q_8|,F 3!Zd]1$ 光柵詳細(xì)說(shuō)明 *ntq;]
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cf1Ve\(YGI $5yS`IqS •為了演示一維光柵的光柵分析器,我們使用帶HR涂層的正弦光柵。
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•可以在堆棧中指定光柵
參數(shù),并且在光柵組件的編輯對(duì)話(huà)框中訪問(wèn)該參數(shù)。
5[`!\vCiZ #6fp" 光柵階次分析器設(shè)置 #!rng]p w;0NtV| •定義光柵
結(jié)構(gòu)后,可以配置光柵階次分析器。
"p.MJxH •可以指定各種輸出選項(xiàng)。
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