干涉測量法是
光學(xué)計(jì)量學(xué)的重要技術(shù)。 它被廣泛用于例如,表面輪廓、缺陷、高
精度的
機(jī)械和熱變形。 作為一個(gè)典型示例,在
VirtualLab Fusion中借助非
序列場追跡,構(gòu)建了具有相干
激光光源的Mach Zehnder干涉儀。 證明了
光學(xué)元件的傾斜和移位如何影響干涉條紋圖案。
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J _[e9 6\S$I5 元件傾斜引起的干涉條紋 R;Gl{ r-\T}e2Gz
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