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I-6H5 Qu=b -9 斐索
干涉儀是工業(yè)上常用的一種
光學測量
儀器，常用于高
精度的光學表面質(zhì)量檢測。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追跡技術(shù)，我們建立了斐索
干涉儀，并將其用于測試不同的光學表面，如柱面和球面，可以發(fā)現(xiàn)由此產(chǎn)生的干涉條紋對表面輪廓很敏感。
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觀測傾斜平面 rCA!b"C2
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