\OV FZ D 作為最著名的
衍射效應(yīng)之一，泰伯(Talbot)效應(yīng)可以用于光刻技術(shù)中以制造周期性
納米結(jié)構(gòu)。繼I.-H. Lee等人，我們在六邊形網(wǎng)格上構(gòu)造了一個(gè)圓錐形
光柵掩膜版，并以深度方式
模擬了Talbot圖像的生成。 特別是，由于光刻過程中使用的紫外光是非
偏振的，因此我們在示例中演示了如何為
VirtualLab Fusion中的光柵模擬建模非偏振光。
2VY7?1Ab(@ 圓錐形相位掩模的Talbot圖像 :6(\:
D;P=\i>9- ?+.mP]d_ 在VirtualLab Fusion中對帶有圓錐體的相位掩模版進(jìn)行了建模。檢測到不同的Talbot圖像，以使柱形圖案位于主像平面中，而孔圖案出現(xiàn)在次像平面中。
<OEIG 0 用于光柵仿真的非偏振光–實(shí)例討論 C _N|o|dX
/[_aK0 U3 e#/&A5#Ya 示范了在VirtualLab Fusion的光柵仿真建模中，如何以兩個(gè)正交偏振態(tài)的平均值建模非偏振光的影響。
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