在傳統(tǒng)的Talbot光刻中，在光敏層中僅使用一個(gè)圖像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的兩個(gè)圖像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通過(guò)傅立葉模態(tài)法（FMM，也稱(chēng)為RCWA）在VirtualLab Fusion中對(duì)具有一層圓錐體的相位掩模進(jìn)行了建模。探測(cè)得到不同的Talbot像，柱狀圖位于主像面上，孔狀圖位于次像面上。 2| ERif;)  
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建模任務(wù) HhB' ^)  
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    結(jié)構(gòu)和材料參數(shù)來(lái)自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) #lx(F3  
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某一位置的Talbot圖樣 _z&H
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某一位置的Talbot圖樣 DbH'Qs?z  
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不同位置的Talbot圖樣 lC=T{rR  
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沿Z軸的強(qiáng)度 z6bIv}  
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走進(jìn)VirtualLab Fusion ZNY),3?  
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VirtualLab Fusion的工作流程 hE}y/A[  
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 構(gòu)建光柵結(jié)構(gòu) oJVpJA0IA  
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 通過(guò)參數(shù)運(yùn)行計(jì)算不同位置的強(qiáng)度 3Cl&1K #5  
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VirtualLab Fusion技術(shù) /7yd&6`I  
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