5<,}^4wWZ 在最近的幾十年里,COMS傳感器的
像素尺寸由最初大于10um以發(fā)展至2um,甚至更小。通過減小像素尺寸以獲得更高的空間
分辨率。與此同時,這也為覆蓋在每個像素上的微
透鏡的功能帶來了疑問。在此示例中,我們研究了像素大小等于或小于2um CMOS傳感器的性能。 并在
仿真分析中采用嚴格的FMM / RCWA以檢測微透鏡的有效性。
kTc'k /G G QO$' 2. 建模任務(wù) @e$zEj5 采用的幾何參數(shù)來自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
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A5!f# 采用的幾何參數(shù)來自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
#RlI([f|& HMrS:: 2@uo2]o) 3. 2 um像素的微透鏡陣列(X-Z截面仿真) gqyQ Zew
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