*[]7l]XK.  
直接設(shè)計(jì)非近軸衍射分束器仍然是一個(gè)挑戰(zhàn)。由于衍射角相當(dāng)大，元件的特征尺寸與工作波長(zhǎng)在相同的數(shù)量級(jí)上。因此，設(shè)計(jì)過(guò)程超出了近軸建模方法。因此，在這個(gè)例子中，迭代傅里葉變換算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)，和傅里葉模態(tài)方法(FMM)隨后應(yīng)用于嚴(yán)格的性能評(píng)估。 zF[kb%o  
vrXUS9i.  
E?l_*[G  
Qr6[h!  
設(shè)計(jì)任務(wù) [8EzyB>fH  
5`53lK.C  
使用近軸近似的衍射1：7×7分束器的初步設(shè)計(jì)通過(guò)嚴(yán)格分析，進(jìn)一步優(yōu)化零階均勻性和影響 UiqHUrx  
`f,SY  
$vnshU8/v  
h|$.`$  
光柵級(jí)次分析模塊設(shè)置 8_US.52V  
                       _Qs=v0B//  
l