最近在用Zemax仿真干涉儀，在這之前查資料都是關于一些平面干涉儀的仿真，很少有關于Fizeau型的，尤其是球面干涉儀的仿真，看到很多關于這方面的問題回復都說利用多重結構仿照Zemax馬赫-澤德干涉儀去做，但是也沒有具體的過程，因此在這里分享一下我仿真的干涉儀步驟方法，具體是利用多重結構完成的仿真。 G-.^O,%  
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分為三個部分對干涉儀進行設計：準直部分、參考部分、成像部分。 &sL&\+=<(  
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1.準直部分。與一般的準直系統(tǒng)設計一樣，根據(jù)所需參數(shù)對準直系統(tǒng)進行設計，可以采用無焦模式設計，也可以反向設計，我是利用第二種方法設計的，評價方法利用波前即可。這一步設計的主要目的是為了得到符合標準的平行光（平面波）。 7[}xP#Z  
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2.參考部分。由于是球面干涉儀（非球面干涉儀），這一部分的設計應使參考面的光線可以原路返回，因此需要對標準鏡組進行相應設計。下圖是我設計的標準鏡結構，標準鏡最后一個面（最右側面）為參考面，需要注意對于標準鏡的透射波前以及標準鏡本身都是具有要求的，例如要滿足測量精度優(yōu)于0.1λ，則透射波前優(yōu)于1λ，參考面面形優(yōu)于0.1λ即可，還有另外一些要求因為比較繁瑣，這里不再詳細描述，具體可以參考論文“大口徑高精度斐索干涉儀球面參考鏡設計_曲藝”進行設計。在進行標準鏡的優(yōu)化時，可以使用RAID、RAED操作函數(shù)針對參考面進行優(yōu)化。 7fba-7-P  
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3.成像部分。成像部分設計與一般的成像系統(tǒng)設計完全一樣，評價函數(shù)及優(yōu)化方法完全一致，只不過需要根據(jù)測量要求確定視場角等參數(shù)。 jYhB +|  
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4.利用多重結構將三個部分連通起來。只要三個部分的設計滿足要求，連通按照一般的多重結構將干涉儀光路將三個部分連通起來即可，需要注意的是這里利用多重結構的原因是干涉光路包括標準光路和測量光路，測量光路中存在待測件，因此，兩個光路有區(qū)別，如下圖所示。注意：連通過程也應嚴格保證參考光返回為平行光。 >M/V oV  
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5.干涉圖生成。對于不同的元件，只需要在多重結構的測量光路中更換待測元件即可，例如下圖是對一個與參考面同曲率半徑的球面進行測量，按理應該生成零條紋，但系統(tǒng)存在著不可避免的像差，因此條紋圖并非完全為理論上的零條紋。 H?X|(r|+  
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