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    [技術(shù)]JCMSuite應(yīng)用:光場通過六方晶胞的近場分析 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2022-09-05
    ;JHR~ TV  
    這是一個(gè)簡單的二維光柵的例子,具有雙重周期(六方)晶格。三維單元晶胞在x和y平面上是周期性的。它包含兩個(gè)不同的菱形(平行六面體),位于襯底上,被背景材料包圍。我們選擇了一個(gè)直角線單元晶胞(最小原始單元格)來避免結(jié)構(gòu)的計(jì)算域邊界的不利切割。案例中的材料選擇為鉻(菱形),玻璃(基底)和空氣(背景材料)。
    ;4s7\9o  
    j0.E!8Ae{  
    光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計(jì)算近場分布。下圖顯示了當(dāng)波長為193nm時(shí),平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場強(qiáng)度
    S偏振光照明的場矢量 v"v-c!k  
    b+tm[@|,v  
        
    P偏振光照明的場矢量 o+% ($p  
    C(J+tbk  
    后處理傅里葉變換計(jì)算透射衍射級(jí)次的振幅。
     
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