NP|U
|zn 這是一個簡單的二維
光柵的例子，具有雙重周期(六方)晶格。
三維單元晶胞在x和y平面上是周期性的。它包含兩個不同的菱形(平行六面體)，位于襯底上，被背景
材料包圍。我們選擇了一個直角線單元晶胞(最小原始單元格)來避免
結構的計算域邊界的不利切割。案例中的材料選擇為鉻(菱形)，
玻璃(基底)和空氣(背景材料)。
j[=f;&1 0eb`9y M 光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分布。下圖顯示了當
波長為193nm時，平面波從襯底側垂直入射到結構內(nèi)的近場強度
S偏振光照明的場矢量 6:h!gY
wdp 4-
