光學(xué)波導(dǎo)氣體
傳感器,簡稱為“光波導(dǎo)傳感器”,實(shí)際光學(xué)波導(dǎo)就是通過
玻璃光波導(dǎo)面固定對某一種被測氣體有選擇性響應(yīng)的敏感試劑,來制作的
薄膜光波導(dǎo)氣體傳感器。首先利用離子交換法可以制備出
折射率平穩(wěn)變化的光波導(dǎo),然后通過玻璃基板表面附近結(jié)合比較弱的或可移動(dòng)的離子與玻璃表面的半徑較小離子進(jìn)行交換,可以形成折射率略高于基板的導(dǎo)波。
i:k-" xyV]?~7 接著將篩選具有一定選擇性的敏感
材料,通過旋轉(zhuǎn)甩涂法或者提拉法固定在玻璃光波導(dǎo)表面,制作薄膜玻璃光波導(dǎo)傳感元件,將薄膜玻璃光波導(dǎo)傳感元件安裝在光波導(dǎo)檢測
系統(tǒng)中對氣體進(jìn)行檢測,當(dāng)敏感層與被測氣體相互按觸時(shí),氣敏改變敏感薄膜的光學(xué)
參數(shù),進(jìn)而引起臨近波傳播模式的改變,導(dǎo)致輸出光強(qiáng)度的變化。
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6lU|mJ`M 光學(xué)波導(dǎo)氣體傳感器架構(gòu)圖
7\/u& 那么光學(xué)波導(dǎo)氣體傳感器輸出光強(qiáng)度變化程度,與被測氣體濃度有關(guān),因此檢測輸出光強(qiáng)度的變化就可以獲得被測氣體濃度的有關(guān)信息。
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