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衍射光學(xué)中,當(dāng)周期性
結(jié)構(gòu)被準(zhǔn)直光照射時,可以觀察到在物體后面周期性距離處形成的周期性結(jié)構(gòu)的圖像。這就是眾所周知的 Talbot 效應(yīng)(用所謂的 Talbot 距離來描述周期性間隔),它已經(jīng)在例如光刻中得到了常規(guī)應(yīng)用。
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物理光學(xué)建模和設(shè)計軟件VirtualLab Fusion的場跟蹤技術(shù),可以充分研究這種效應(yīng)及其應(yīng)用。請看下面的例子,在這些例子中,我們用線性和交叉圖案演示Talbot效應(yīng)的基本
原理,并更仔細地研究特定的光刻應(yīng)用,以產(chǎn)生
納米結(jié)構(gòu)。
O <Rh[Aqn 圓錐相位掩模版的泰伯成像 y#GHmHeh
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