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光柵結(jié)構(gòu)廣泛應(yīng)用于各種光學(xué)應(yīng)用場景，如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)、脈沖整形等�？焖傥锢砉鈱W(xué)軟件VirtualLab Fusion通過使用傅里葉模態(tài)方法(FMM，也稱為RCWA)，為任意光柵結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析提供了通用和方便的工具。為此，復(fù)雜的一維或二維周期結(jié)構(gòu)可以使用界面和調(diào)制介質(zhì)進(jìn)行配置，這允許任何類型的光柵形貌進(jìn)行自由的配置。在此用例中，詳細(xì)討論了衍射級(jí)次的偏振態(tài)的研究。 (S& D qFY>/fCP4
 }$3pS:_N~ _+0c<' 任務(wù)說明 {'+.?g *Oh]I|?  92/_!P>
#BI Z| 簡要介紹衍射效率與偏振理論 z)
"(&__ 某個(gè)衍射級(jí)次（𝑛）的效率表示有多少的輻射功率被衍射到這個(gè)特定的級(jí)次中。它是由復(fù)數(shù)值瑞利系數(shù)計(jì)算出來的，瑞利系數(shù)包含了每個(gè)衍射級(jí)次（矢量）電磁場的全部信息。瑞利系數(shù)本身是由FMM對(duì)光柵的特征值問題進(jìn)行嚴(yán)格分析的結(jié)果。 Uee$5a>( 如果在TE/TM坐標(biāo)系(CS)中給出瑞利系數(shù)，則可以計(jì)算衍射效率： Z4T{CwD `D  H+N6 VVnO 其中，n_in/n_out為覆蓋層和襯底層的折射率，ϑ_in/ϑ_out為所分析的階次的入射角和衍射角。此外，𝐴表示輻射光的振幅。 *M XE> 如果瑞利系數(shù)沿𝑥、𝑦和𝑧給出瑞利系數(shù)，則必須應(yīng)用以下方程： eqU y>  @u-CR8^ 因此，必須考慮所給出的瑞利系數(shù)的坐標(biāo)系。默認(rèn)情況下，光柵坐標(biāo)系中為 。
A4TW`g_zm N >];x b>
光柵結(jié)構(gòu)參數(shù) x\Kt}/9
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