亚洲AV日韩AV无码污污网站_亚洲欧美国产精品久久久久久久_欧美日韩一区二区视频不卡_丰满无码人妻束缚无码区_久爱WWW成人网免费视频

切換到寬版
  • 廣告投放
  • 稿件投遞
  • 繁體中文
    • 1194閱讀
    • 0回復(fù)

    [技術(shù)]JCMSuite應(yīng)用—衰減相移掩模 [復(fù)制鏈接]

    		 上一主題 下一主題
    在線infotek
     
    發(fā)帖
    5553
    光幣
    21925
    光券
    0
    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2022-04-02
    在本示例中，模擬了衰減相移掩模。 該掩模將線/空間圖案成像到光刻膠中。 掩模的單元格如下圖所示： V%ii3  
    XEH}4;C'{  
     '-PC7"o  
    Snw3`|Y~<  
    掩模的基板被具有兩個(gè)開口的吸收材料所覆蓋。在其中一個(gè)開口的下方，位于相移區(qū)域。 #2p#VQh  
     ` }gbc69  
    由于這個(gè)例子是所謂的一維掩模(線/空間模式)，在xy平面中有一個(gè)2D仿真域。在源文件中設(shè)置3DTo2D = yes標(biāo)簽，以執(zhí)行用戶自定義傳入方向的自動(dòng)轉(zhuǎn)換。啟用此標(biāo)記后，就可以描述傳入?yún)^(qū)域，就好像光軸與Z軸重合一樣。這允許統(tǒng)一設(shè)置2D和3D的掩模模擬項(xiàng)目。由于光線從基板下方進(jìn)入，光線的傳輸方向?yàn)?Z方向。 4`v!Z#e/aX  
     F`+\>ae$h  
    相位分布如下圖所示： t'qL[r%?  
    Qst$S}