國產(chǎn)光刻機(jī)邁出重要一步
光刻機(jī)制造巨頭ASML說過:“中國不太可能獨(dú)立造出頂級光刻機(jī),但永遠(yuǎn)別說永遠(yuǎn)。” ASML給自己留了一個(gè)話口,沒有說一定或者絕對,而是以“別說永遠(yuǎn)”的口吻去對未來的可能性做出評判。可見ASML也不確信中國能不能獨(dú)立造出頂級光刻機(jī)。以后的事情我們不知道,但可以確定的是,只要不斷取得進(jìn)步,就一定能離目標(biāo)更近一些。 國產(chǎn)光刻機(jī)傳來好消息,邁出重要一步。得益于芯片制造產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,光刻機(jī)成為了許多芯片制造商們爭搶的半導(dǎo)體設(shè)備。作為造芯片必不可少的設(shè)備工具,越頂級的光刻機(jī)能夠曝光更多的晶圓,并且在極致光源波長的作用下,光刻出數(shù)量越多的晶體管。目前全球最頂級的光刻機(jī)是EUV極紫外光源,它的生產(chǎn)制造能力掌握在荷蘭ASML公司手中。短時(shí)間內(nèi)國產(chǎn)光刻機(jī)還達(dá)不到這樣的成就,可是也不需要?dú)怵H,因?yàn)閲a(chǎn)光刻機(jī)也在不斷傳來好消息,說明并未停止腳步。 只要不斷前進(jìn),就能迎來破局的曙光。這一次國產(chǎn)光刻機(jī)在曝光光學(xué)系統(tǒng)上傳來好消息,邁出重要一步。消息事件的主角是北京國望光學(xué)科技有限公司,根據(jù)該公司公布的公告顯示,投影光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)研發(fā)及批量生產(chǎn)基地項(xiàng)目有三家候選人中標(biāo),這三家候選人主要負(fù)責(zé)曝光光學(xué)系統(tǒng)該項(xiàng)目的生產(chǎn)廠商潔凈工程。 |