一 光學(xué)樣板檢驗原理 HBLWOQab  
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   當(dāng)光學(xué)零件的被檢表面和樣板的工作表面（參考表面）相接觸時，由于兩者的面形不一致，產(chǎn)生一定的空氣隙，當(dāng)波長為λ的光射到空氣隙上，便形成等厚干涉條紋，如圖1-1所 {aN(d3c  
   從等厚干涉知道，相鄰兩亮條紋之間空氣隙厚度差近似為λ/2，即通常所說的一個干涉條紋（光圈）相當(dāng)于空氣隙厚度變化為λ/2，因此，光圈數(shù)為N部位所對應(yīng)的空氣隙厚度變化為N·λ/2。所以，光學(xué)零件的面形精度可以通過垂直位置觀察到的干涉條紋的數(shù)量、形狀、顏色及其變化來確定。 SvK1.NUa  
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（一）低光圈  表示樣板與被檢表面在邊緣部位接觸。對于凸球面，則表示曲率半徑大于樣板的；對于凹球面，則表示曲率半徑小于樣板的；對于平面，則表示平面變?yōu)榘记蛎妗?span style="display:none">
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      高光圈  表示樣板與被檢表面在中間部位接觸，對于凸球面、則表示曲率半徑小于樣板的；對于凹球面，則表示曲率半徑大于樣板的；對于平面，則表示平面變成凸球面。 -O&"|   
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（二）被檢光學(xué)表面在相互垂直方向上的曲率半徑相對參考光學(xué)表面曲率半徑的偏差不相等，稱為象散偏差，以△1N表示。這種偏差在相互垂直方向上的干涉條紋數(shù)量不等。 v5T9Y-{`  
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（三）被檢光學(xué)表面的局部區(qū)域相對于參考光學(xué)表面的偏差，稱為局部偏差，以△2N表示。這種偏差在任一方向上產(chǎn)生局部不規(guī)則的干涉條紋。 <?$kI>Ot  
   光學(xué)零件被檢表面的局部偏差有以下幾種基本類型： lv:U%+A  
     中心低  被檢光學(xué)表面的中心部位相對于平滑干涉條紋凹陷。 Q2C
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     中心高  被檢光學(xué)表面的中心部位相對于平滑干涉條紋凸起。